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By Paul L. DeVries

ISBN-10: 0471548693

ISBN-13: 9780471548690

ISBN-10: 0471599638

ISBN-13: 9780471599630

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6a) Sie sollen ein Mikrosensorarray (Zeile oder Matrix) mit vielen freitragenden Membranbereichen entwerfen. Die benötigten Membranen haben die Abmessungen 1 mm · 1 mm. 18 dargestellte Technologie verwendet wird? b) Durch welche technologischen Maßnahmen könnte der Mittenabstand verringert werden? 1 Thermistoren Thennistoren sind halbleitende Widerstände, die die Temperaturabhängigkeit ihres Widerstandes als Sensoreffekt nutzen. Der Temperaturkoeffizient ß des Widerstandes ist negativ, deshalb werden diese Sensoren auch als NTC-Widerstände oder als Heißleiter bezeichnet.

20 Kennlinien der Thermopaare vom Typ J, K, S und T Für die praktische Arbeit mit Thermoelementen können die für die jeweilige Temperatur gültigen Thermospannungen sogenannten internationalen Grundwertreihen [Ric90] entnommen werden. Die Grundwertreihen liegen in Tabellenform mit 1 K Teilung vor. tl' ~ a·T. 25) i=O mit denen die Zwischenwerte innerhalb der 1 K-Teilung bestimmt werden können. Technische Ausführungsformen von Thermoelementen sind Mantelthermoelemente und Schutzrohrthermoelemente mit Anschlußkopf.

Der Temperaturkoeffizient ß des Widerstandes ist negativ, deshalb werden diese Sensoren auch als NTC-Widerstände oder als Heißleiter bezeichnet. Sie bestehen aus gepreßten und gesinterten Metalloxidpulvern. Typische Materialien sind die Oxide Fe203, Fe304, Zn2Ti04 und MgCr204. 1 dargestellt. 1 Technologie zur Thermistorfertigung Die mit der Sintertechnologie hergestellten Mischoxidkeramiken sind eigenleitende Halbleiter mit einem kleinen Bandabstand ilW. 1) Die Konzentration von Elektronen und Löchern ist im Eigenhalbleiter gleich und wird als Inversionsdichte ni bezeichnet.

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by Paul
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